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一、機(jī)組配置
(1)JTFB-1200膠圈水冷分子泵1臺(tái)。
(2)2X-70旋片泵1臺(tái)。
(3)BSJ150L羅茨泵1臺(tái)。
(4)KF25氣動(dòng)角閥2套。
(5)200擋板閥1套。
(6)高真空復(fù)合真空計(jì)1套。（包括KF40電離規(guī)、KF16熱偶規(guī)）
(7)波紋管3根。
(8)帶腳輪、圍板的機(jī)架1套。
(9)PLC控制系統(tǒng)1套。
(10)工作電壓：380V
二、機(jī)組外形圖
三、機(jī)組外形尺寸
