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超高真空機組選型指南

2025-01-06 583

一、久泰真空超高真空機組簡介

久泰真空超高真空分子泵系列排氣機組為適應真空應用市場需求而設計制造,整機簡潔、美觀、性能優良,操作簡單、維護方便。我公司還可以根據客戶要求進行非標定制,保證質量、及時供貨。

 JT系列超高真空機組中真空獲得為分子泵+機械泵,設備真空度在分子泵啟動到400HZ后優于3*10-3Pa ;30分鐘以內優于5*10-4Pa ;極限真空3*10-5Pa 。

機組為可移位臺式小車結構,能夠滿足不同位置排氣的需要。為縮短了排氣時間,有效提高工作效率,機組可配備預抽排氣系統,可在分子泵不停止的狀態下實現換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程。

二、超高真空機組選型指南

(1)抽速要求

目標真空度:根據實際工藝需求選擇合適的機組:

超高真空:10?6 至 10?8Pa。

極限真空:10?9Pa 以下,適用于實驗室和科研應用。

腔體體積與抽氣時間:

計算腔體體積和抽速需求,確保機組能在所需時間內達到目標真空度。

經驗公式:抽氣時間 = (腔體體積 × ln(P1/P2)) / 抽速。

(2)主要配置

超高真空機組通常由前級泵、主泵(如渦輪分子泵或磁懸浮分子泵)、真空閥和控制系統組成。

主泵類型:

渦輪分子泵:適合大部分超高真空工藝,經濟高效。

磁懸浮分子泵:無油污染,適用于極高潔凈度和高精密應用場景。

前級泵選擇:

干式螺桿泵:無油設計,適合潔凈環境。

油封機械泵:經濟型方案,適用于一般工業應用。

真空閥:

配置超高真空插板閥或波紋管閥,確保密封性能。

冷卻方式:

根據泵的設計選擇風冷或水冷系統,確保設備在連續運行時溫度穩定。

(3)工藝兼容性

氣體種類:確認目標氣體類型(如惰性氣體、腐蝕性氣體等),確保泵材質和密封件的耐腐蝕性。

特殊要求:如需要處理大量水蒸氣或輕質氣體,選擇具有高吞吐能力或優化設計的型號。

(4)系統控制與安全

自動控制:選配智能控制系統,實現真空狀態的實時監測與自動調節。

保護功能:確保配有防返流裝置、壓力過高保護和電源保護功能,防止設備損壞或工藝污染。

(5)運行環境與安裝空間

安裝空間:根據設備尺寸和維護需求預留足夠的空間。

環境溫度:大多數機組適用溫度為5–40°C,需避免過高或過低溫度運行。

振動與噪音:對振動和噪音敏感的應用場景,建議選擇低振動、低噪音機型(如磁懸浮分子泵)。


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